電子凈化車間

電子凈化車間

潔凈度等級要求高，風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)按需受控，照度、潔凈室截面風(fēng)速按設(shè)計或規(guī)范受控，另外該類潔凈室對靜電要求極其嚴(yán)格。其中對濕度的要求尤甚，因為過于干燥的廠房內(nèi)極易產(chǎn)生靜電，造成CMOS集成損壞。

一般來說，電子廠房的溫度應(yīng)控制在22℃左右，相對濕度控制在50-60%之間（特殊潔凈車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定）。這時可有效地消除靜電，并使人也感覺舒適。

芯片生產(chǎn)車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業(yè)潔凈室的重要組成部分。

由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過程中對室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴(yán)格，主要以控制微粒和浮塵為主要對象，同時還對其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴(yán)格的規(guī)定。

◆電子制造廠萬級潔凈室內(nèi)的噪聲級（空態(tài)）：不應(yīng)大于65dB(A)。

◆電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應(yīng)小于60%，水平單向流潔凈室不應(yīng)小于40%，否則就是局部單向流了。

◆電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa。

◆電子制造行業(yè)萬級潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項中的最大值：

一、補償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和；二、保證供給潔凈室

內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40m³。

◆電子制造行業(yè)潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)加熱器，應(yīng)設(shè)置新風(fēng)，超溫斷電保護，若采用點加濕時應(yīng)設(shè)置無水保護，寒冷地區(qū)，新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護措施。

無塵室的送風(fēng)量，應(yīng)取下面三項最大值：

1.保證電子制造廠無塵室空氣潔凈度等級的送風(fēng)量；

2.根據(jù)熱，濕負荷計算確定電子廠潔凈室的送風(fēng)量；

3.向電子制造廠潔凈室內(nèi)供給的新鮮空氣量。

潔凈度影響因素

潔凈室作為一個龐大的凈化系統(tǒng)，面積大的同時，還需要劃分復(fù)雜的功能分區(qū)以及相應(yīng)的緩沖配套間等，共同構(gòu)成了復(fù)雜的送、回風(fēng)系統(tǒng)。

因此，會導(dǎo)致潔凈室的潔凈度不合格的因素很多。主要包括：

（1）設(shè)計級別與空調(diào)布置

潔凈室的設(shè)計級別與空調(diào)布置情況直接關(guān)系著潔凈室的潔凈度等級水平。

（2）施工水平

廠房整體施工質(zhì)量，空調(diào)系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、排污系統(tǒng)等保障設(shè)備的安裝質(zhì)量與潔凈室的潔凈度息息相關(guān)。

（3）氣流組織

若氣流組織不合理，則送風(fēng)氣流無法充分籠罩工作區(qū)。送、回風(fēng)口的位置不合理，將會產(chǎn)生較高、較大的渦流，則單向流潔凈室的氣流偏斜角過大。回風(fēng)格柵開孔面積布置不合理，則回風(fēng)速度偏高，回風(fēng)不暢。

（4）高效過濾器

高效過濾器質(zhì)量問題或安裝問題導(dǎo)致送入潔凈室的空氣未經(jīng)過有效的過濾，空氣中懸浮的部分塵埃粒子沒有被濾除，導(dǎo)致潔凈室內(nèi)潔凈度不合格。

（5）換氣次數(shù)

換氣次數(shù)不足會導(dǎo)致潔凈室內(nèi)被污染的空氣無法快速排出潔凈室，過低的換氣次數(shù)也無法抑制發(fā)塵源的污染作用。

（6）靜壓差

靜壓差不合格會使?jié)崈羰覠o法阻擋其外部的污染物進入潔凈室內(nèi)。

（7）風(fēng)淋室

風(fēng)淋室作為進入潔凈室所必需的通道，用來減少進出潔凈室所帶來的污染問題。因此，它的質(zhì)量與潔凈室的潔凈度密切相關(guān)。

（8）設(shè)備擺放

室內(nèi)設(shè)備擺放位置不合理會影響潔凈室內(nèi)的氣流流向不能達到由上至下、由中心至四周的正常流向，造成氣流紊亂，令污染物不能有效排出潔凈室。

（9）新設(shè)備搬入

新設(shè)備的搬入過程需將潔凈室內(nèi)環(huán)境與外界大氣連通。因此，需嚴(yán)格控制設(shè)備的搬入時間與搬運安裝流程。同時，設(shè)備的外包裝需經(jīng)過嚴(yán)格的擦拭清潔后方可搬入。

（10）化學(xué)物質(zhì)

原材料中的化學(xué)物質(zhì)以及生產(chǎn)過程中的衍生物均會產(chǎn)生一定的揮發(fā)物，對潔凈室的潔凈度產(chǎn)生影響。

（11）保潔水平

潔凈室清潔不徹底將導(dǎo)致室內(nèi)積聚污染物，造成衛(wèi)生死角。

（12）人員與物資運轉(zhuǎn)

潔凈室運行過程中，人員和物資的運轉(zhuǎn)很容易在污染敏感的活動周圍產(chǎn)生空氣紊流，是潔凈度的主要污染源。

物資流轉(zhuǎn)量過大，作業(yè)人員數(shù)量超標(biāo)，人員潔凈服穿著不當(dāng)?shù)葐栴}，均會造成發(fā)塵量超標(biāo)。